FIB雙束掃描電鏡是一種結(jié)合了聚焦離子束和掃描電子顯微鏡的高精度微納加工和分析設(shè)備。它的主要組成部分包括以下幾個(gè)部分：
1、離子源：FIB系統(tǒng)是FIB雙束掃描電鏡的核心部分，用于產(chǎn)生離子束。離子源通常采用電子轟擊或液態(tài)金屬源等方法產(chǎn)生離子。
2、離子透鏡系統(tǒng)：離子透鏡系統(tǒng)由一組電磁透鏡組成，用于對(duì)離子束進(jìn)行聚焦和調(diào)節(jié)。通過離子透鏡系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面的精細(xì)加工和成像。
3、樣品室：樣品室是放置待加工和觀察樣品的空間。樣品室通常采用高真空環(huán)境，以減少氣體分子對(duì)離子束的影響。
4、掃描器：掃描器負(fù)責(zé)控制離子束在樣品表面的掃描路徑。掃描器通常采用電磁偏轉(zhuǎn)器或壓電陶瓷等方式實(shí)現(xiàn)離子束的精確掃描。
5、檢測(cè)器：檢測(cè)器用于收集從樣品表面反射、散射或產(chǎn)生的信號(hào)。常見的檢測(cè)器包括二次電子探測(cè)器、X射線能譜儀等。
6、電子槍：電子槍用于產(chǎn)生一束高能量的電子束，作為SEM的光源。電子束經(jīng)過一系列電磁透鏡的聚焦和調(diào)節(jié)后，照射到樣品表面，產(chǎn)生二次電子等信號(hào)。
7、信號(hào)處理系統(tǒng)：信號(hào)處理系統(tǒng)負(fù)責(zé)對(duì)接收到的信號(hào)進(jìn)行處理和分析，以獲得樣品的形貌、成分和結(jié)構(gòu)等信息。
8、控制系統(tǒng)：控制系統(tǒng)負(fù)責(zé)整個(gè)FIB雙束掃描電鏡的運(yùn)行和參數(shù)調(diào)節(jié)。用戶可以通過控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)離子束的能量、電流、掃描速度等參數(shù)的調(diào)節(jié)，以及對(duì)樣品的加工和觀察操作。
9、真空系統(tǒng)：真空系統(tǒng)負(fù)責(zé)維持整個(gè)高真空環(huán)境。真空系統(tǒng)通常包括機(jī)械泵、渦輪分子泵、真空閥等部件。
10、計(jì)算機(jī)系統(tǒng)：計(jì)算機(jī)系統(tǒng)負(fù)責(zé)控制整個(gè)FIB雙束掃描電鏡的運(yùn)行，以及數(shù)據(jù)處理和圖像重建等功能。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)通常采用高性能的工業(yè)控制計(jì)算機(jī)，并配備專門的軟件系統(tǒng)。
