高分辨率掃描電鏡突破了傳統(tǒng)臺式掃描電子顯微鏡用BSD探測器成像的局限性，采用創(chuàng)新的雙聚光成像技術(shù)，采用大規(guī)模掃描電子顯微鏡成像模式，并使用二次電子探測器作為基本成像單元。因此，可以獲得更高的分辨率，這是真正意義上的高分辨率臺式掃描電子顯微鏡。
高分辨率掃描電鏡具有與大型掃描電子顯微鏡相同的分辨率。該設(shè)備實現(xiàn)了大型電子顯微鏡的小型化，放大倍數(shù)高達(dá)10萬倍；搭載易于使用的可變光圈，可實現(xiàn)5nm的圖像分辨率。
它是高分辨率臺式掃描電子顯微鏡中的高分辨率設(shè)備；作為5軸工作臺，它可以同時使用鼠標(biāo)控制和快捷鍵移動樣本進(jìn)行分析；通過各種掃描模式和測試工具可以獲得各種分析結(jié)果，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生命科學(xué)、教育、鑒定、工業(yè)、電子、環(huán)境、能源等領(lǐng)域。
高分辨率臺式掃描電子顯微鏡是費納電子顯微鏡系列中的先進(jìn)產(chǎn)品。它是目前世界上高分辨率的臺式掃描電子顯微鏡，可用于測量亞微米或納米級樣品。它繼承了費納電子顯微鏡系列的高分辨率全自動操作、2-3年的燈絲更換和防震設(shè)計。
高分辨率掃描電鏡具有更簡單易用的導(dǎo)航模式和更快的操作模式，它可以自動設(shè)置生物樣品和材料樣品，提高和擴(kuò)展實驗室中光學(xué)顯微鏡或掃描電子顯微鏡儀器的分辨率和景深。自動和手動控制高分辨率臺式掃描電子顯微鏡的預(yù)設(shè)方案，高真空和低真空模式，導(dǎo)體和非導(dǎo)體樣品不需要特殊的樣品處理準(zhǔn)備，如涂層和干燥。
