場發(fā)射掃描電鏡可向樣品室充入多種氣體，在低真空下仍能獲得優(yōu)于2nm的高分辨圖像；可向樣品室通入水蒸氣，使含水、含油及不導(dǎo)樣品可直接觀察；可在樣品室內(nèi)對樣品做加溫、低溫處理，對化學(xué)反應(yīng)過程進(jìn)行實(shí)時(shí)觀測。該設(shè)備適用于納米材料精細(xì)形貌的觀察，可薛利高質(zhì)量高分辨二次電子圖像。該儀器配備的X射線能譜儀可對塊狀樣品做定性及半定量分析。
場發(fā)射掃描電鏡的成像原理：
來自掃描發(fā)生器的掃描信號分別送給電子光學(xué)系統(tǒng)的掃描線圈和顯像管的掃描線圈，讓電子束于顯像管的陰極射束做同步掃描，是陰極射束在熒光屏上的照射點(diǎn)(稱為像點(diǎn))與電子束在樣品上的照射點(diǎn)按時(shí)間順序一一對應(yīng)，樣品上的物點(diǎn)在電子束作用下所產(chǎn)生的信號被檢測器隨時(shí)檢出，經(jīng)視頻放大器放大后控制顯像管陰極射束的強(qiáng)度使熒光屏上像點(diǎn)的亮度受試樣上物點(diǎn)所產(chǎn)生的信號的大小的調(diào)制，從而得到與樣品性質(zhì)有關(guān)的圖像。
場發(fā)射掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)：
(1)有較高的放大倍數(shù)，20-30萬倍之間連續(xù)可調(diào)；
(2)有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)；
(3)試樣制備簡單，目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀(EDS)裝置，這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析。
